2023年8月28日风和日丽，由上海沪煦机电工程有限公司承接的星奇（上海）半导体有限公司二期新建（百级净化&万级净化）无尘车间工程项目正式开工，施工人员在现场进行准备工作。

       项目共上下两层，一层为万级洁净室，二层为百级洁净室。室内温湿度参数：温度:22℃±2℃，湿度:55%±5%。

万级洁净室采用FFU+FCU+MAU+HEPA的形式，MAU通过HEPA向室内输送洁净新风，FCU+FFU处理室内温湿度。

百级洁净室采用满布FFU+MAU+DCC的形式。气流组织为上送下回的形式，形成稳定的单向流，以保证室内≥0.5μm的尘埃粒子小于3520个/m3。MAU提供新风，DCC处理室内温湿度。考虑到参观需求，洁净室的回风夹道内外也设置了观察窗，以便观察洁净室内部情况。

室外的冷热源采用两套系统，一套冷冻水系统，一套中温水系统，分别为MAU、FCU与DCC提供冷量。

控制上，采用FFU群控，室内温湿度自动调节的控制逻辑，水系统根据实际的冷（热）负荷大小，自动调节水流量。实现无接触式自动控制，杜绝人员潜在的误操作可能性。

项目建成将满足企业研发设计、精密机加、激光焊接、电解抛光、电气控制、高精温控、流体仿真、算法、超纯清洗、测试检测等关键工艺环节的环境需求。为企业年产高纯工艺流控模组2000套、核心部件100万颗的目标保驾护航。

根据企业发展规划，二期产能迈上新台阶，将为企业三期扩建打下坚实的基础，让我们齐心协力，共同见证项目的进展和成功，为美好的未来努力拼搏！