生产工艺决定洁净室对温湿度的控制。在满足加工工艺的条件下,应首先考虑到人的舒适感,人体出汗以后,对产品会产生污染,比如怕钠的半导体生产。
不同行业,因其不同的生产工艺、原材料特性、人员参与数量和地区差异,相对应不同的洁净室温湿度标准,具体如列表:
附表: