高架地板主要是以可调支架、横梁、面板等组合拼装而成的。支架、横梁、面板的技术性能应符合设计要求和国家现行规范规定。架空防静电地板是用支架、横梁、面板组装。水平地板和面板之间就有一定的悬空空间。就可以用来下走线及回风。高架地板的作用就是把经过洁净室顶部高效过滤器处理的空气垂直导入地板下方的回风道,从而在洁净室内垂直的气流流形。
洁净室是否需要装高架地板和气流流型有关。所谓气流流型就是对洁净室内空气的流动形态和分布进行合理的设计。洁净室气流流型的特点为:应考虑避免或减少涡流,减少二次气流,有利于迅速有效地排除污染物;应尽量限制和减少室内污染源散发的尘和菌的扩散,维持室内生产环境所要求的空气洁净度等级;兼顾维持室内的温、湿度及工作人员的舒适要求。
百级洁净室的气流流型是单向流或混合流。单向流是指沿单一方向呈平行流线,并且横断面上风速一致的气流;和百级以上洁净间所采用的混流或乱流方式(即空气以不均匀的速度呈不平行流线流动)相比较,它具有效果完全、运转迅速稳定、粉尘堆集与再飘浮极少,以及管理容易等优点,但是设备造价非常高,维护费用也很高。
根据电子工业洁净厂房设计规范(9GB50472-2008)
百级洁净室气流组织形式为单向流或混合流。
虽然采用高级地板有诸多优点,但实际上百级洁净室并不一定要使用高架地板。