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技术知识
洁净室系统工程设计概述(一)-沪煦机电
作者: 时间:2023-09-08 16:17:32 浏览次数:

——走进浙江季丰电子可靠性实验室

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        初秋,我司接到浙江季丰电子委托,对半导体可靠性测试设备的冷冻水系统、测试环境暖通系统、洁净室工艺布局及环境建造的需求进行系统化设计。

        项目新址场地超过9000㎡,分别以普通环境及洁净环境实现功能目标。项目温湿度控制指标:温度:22℃±2℃ 湿度:55±10%。系统冷热源采用磁悬浮水冷螺杆机组。

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        场地为丙类厂房,原使用业主也是电子、半导体企业,现场遗留下数量可观的通风管道,查看现场确认可以充分利旧,做为项目成本控制的一项优选。

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普通环境区域设计概述:

        冷冻水工艺布局上首先以供给流量,压力以及温度稳定为前置条件,精确计算管路的水力平衡,并采用同程设计。

同时,兼顾室内环境条件,采用风机盘管结合风管利旧的形式,调节室内温湿度,控制成本。

        其次,在过渡季节及冬季,通过阀门自动控制,将系统的冷热源切换至室外冷却塔,利用室外的低温提供冷量,以达到节能的效果。

        最后,考虑到未来产能扩充,预留系统扩容量,时刻迎接企业发展的机遇。

洁净区域设计概述:

        设计独立的通风系统,新风通过G4初效过滤与回风混合后,再通过F6中效过滤,经过表冷再热以及加湿处理,最后通过风机以及F8中效过滤后,进入双层吊顶的技术夹层。进入夹层的空气最终通过风机过滤单元进入洁净室。

设计依据:

        电子工业洁净厂房设计规范             GB 50472-2008

        洁净厂房设计规范                           GB 50073-2013

        洁净室施工及验收规范                    GB 50591—2010

        建筑内部装修设计防火规范             GB 50222-2014

        建筑设计防火规范                           GB 50016-2014(2018年版)

        采暖通风与空气调节设计规范         GB50019-2003